气相沉积炉设备特点是什么　　气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料，也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。　　装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下：　　1.多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　2.采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；　　3.气相沉积炉设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。　　4.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强。

　　真空烧结炉的这些操作大家了解吗　　真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。关于它的操作很多用户都有些疑问，那么，它是怎么操作的呢？这次我们就一起看看。　　一、真空烧结炉操作流程　　1、通电前检查　　通电前，检查真空烧结炉各开关是否放在（关）位，升温方式为“手动”，功率调节逆时针旋到头（低）。确认无误后再根据工艺要求的顺序来启动机械泵、扩散泵。　　2、测量炉内真空度　　根据真空计的操作进行，当达到要求的真空度时，才能加热升温。　　3、抽真空　　紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运转正常后，打开通向炉体的低真空阀，预先对炉体抽气，此阀打开时应缓慢，以免机械泵排气口处有油喷出。　　4、打开真空阀　　真空烧结炉炉体抽真空的同时，打开真空阀，对扩散泵抽气，当真空度达到15Pa后，先开启扩散泵上的冷却水，然后对扩散泵加热，一般经过45分钟左右扩散泵起作用，就可关上通向炉体的真空阀，打开真空阀，真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上，即可对电炉通电加热。　　5、加热　　次加热因放气较多，真空度容易下跌，另外工件加热放气也使真空下跌，所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热，等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作，另外扩散泵油在太低真空下易氧化，导致扩散泵无法作用。也可在低真空下加热除气，等放气基本结束，再开高真空。另外电炉在不用时抽真空状态下保存，下次抽气快些。欲停止抽真空，应先关闭高真空阀，然后停止加热，1个半小时后，关闭低真空阀，停止机械泵运转，只有在扩散泵冷却之后，才切断其冷却水供应。　　6、手动升温　　在炉温200℃以下先用手动方式升温，否则控温不准。在真空状态下按加热启动按钮，缓慢调节手动功率（顺时针方向），使电流慢慢上升，禁止超过次额定电流1100A，电炉温度随之上升。1000-2000℃，可采用红外自动控制炉温。　　7、降温　　降温可按预先设定的程序控制降温，也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水，否则真空烧结炉炉体密封圈会烧坏。