真空烧结炉遇故障的紧急措施 　　在真空烧结炉中，利用中频感应加热的原理，在烧结炉中排空后，利用中频感应加热的原理，在烧结炉中产生钨坩埚，使线圈中的钨坩埚通过热辐射进行工作，并对铁及其合金进行粉末形成和烧结。安装电炉的地方必须符合真空卫生的要求。周围空气应干净干燥，通风状况良好，工地不易扬尘等。在使用中，必须了解以下问题。 　　真空烧结炉主要用于半导体元件和功率整流装置的烧结过程，可进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结，是一系列半导体特种设备中的一种新型工艺设备，可在一个装置上完成多个工艺流程。还可用于其它领域，如真空热处理、真空真空焊接等。下面，系统介绍了烧结炉的应急措施。 　　***，异常冷却水 　　1.核实加热电源是否停止。 　　2.当炉外发生泄漏，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施。如果能保证水量，请继续保持真空，如果不能采取紧急措施，保持原状，并确认设备已冷却。 　　3.冷却水不正常时，设备处于停机状态，应急冷却水立即接通。 　　4.在高温下，如果冷却水停止，如果不能紧急供水，则水冷电极、热交换器、真空烧结炉的真空室壳体和泵可能损坏。 　　第二，压缩空气的停止。 　　1.压缩空气异常时，设备处于停机状态，备用压缩机房尽快恢复，恢复工作。 　　2.如果压缩空气在真空烧结炉真空中出现异常报警，且恢复时间长，则真空终止，设备停止。

　　真空烧结炉加热工件无氧化、无脱碳、无合金元素贫化，脱脂脱气，真空提纯，避免氢脆，能实现分级等温淬火，能控制加热与冷却，为自动化、柔性化生产奠定基础。但在使用加热的时候需要注意下面四点： 　　1、测试真空烧结炉炉温均匀性时，应注意测温触点的定位***方式，以及离加热元件的远近。箱式电阻炉炉内经常(至少每月)用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛和搁砖，要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发生短路，甚至烧坏搁砖。底板、坩埚、炉罐等耐热钢构件每使用一段时间吊起敲击，清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除，就会熔融与耐火砖发生反应，使炉丝熔化。 　　2、要避免热处理产品，尤其足铜、铝、锌、锡、铅等与电加热元件接触，无论是细粉、熔液或蒸汽等，防止在电加热体表面侵蚀形成“麻坑”，截面变小再后过热而烧断。 　　3、真空烧结炉升温后，不能长时间开启炉门。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于电热元件在温度高、冷热变化大情况下容易引起氧化掉皮。对于钼加热炉，EI常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护气。 　　4、引出棒与线夹子应接触良好，引出棒与夹子接触而应光滑。引出棒不能有发红现象，供电时线夹子的升温***高不超过60℃。注意由于升温停止真空烧结炉炉时的热胀冷缩以及蠕变伸长等，引出棒接线夹子的螺栓容易发生氧化松动形成虚接短路，要定期检查拧紧。