公司动态

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉计算机控制系统使用说明
发布时间:2016-11-11   浏览:4423次

  气相沉积炉计算机控制系统要如何使用呢?今天,洛阳八佳电气科技股份有限公司就来跟大家简单的说一说使用方法及注意事项。

  首先,气相沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,这些都是处理工件的核心的部分。而为混气罐,由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀这三部分七小块组成,负责氩气和丙烷的混气配比,以及向沉积炉内定量输送工作气体。

  其次,沉积炉还具有2台滑阀泵,注意是负责气相沉积炉内的空气及工作废气的排除等,这使得炉子可以工作在恒定的压力范围之内。2台过滤罐,主要是负责滑阀泵前级的粉尘排除。

  另外,气相沉积炉计算机控制系统还有3台加热磁性调压器,他们独立工作,完成炉温的控制。


免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

16 December 2016
定制真空烧结炉厂家哪家***

定制真空烧结炉厂家哪家***

  真空烧结炉作为常用的工业设备,在长期使用后,就需要保养,减少设备损坏。今天,就请洛阳八佳电气为大家介绍下烧结炉的保养知识!   烧结炉停用时,要使其炉内保持真空状态。真空烧结炉炉内的灰尘要用浸泡过乙醇或汽油的绸布擦拭,使其保持干燥。   在拆装真空烧结炉上的真空系统、密封结构等零部件时,也要用浸泡过乙醇或汽油的抹布清洗干净,晾干后,涂上真空油脂,然后再组装。   无论是烧结炉,还是真空速凝炉等其他工业路,炉壳都要经常擦拭,保持干净。一些零部件都要清洗后再放入炉内,以防止杂质进入。 真空烧结炉详细描述:   1、 设备具有超高温度的特点,从而更好的满足客户的工艺要求。   2、 烧结炉真空度指标随工艺要求不同而有较大差别,我公司可根据客户的要求配置不同的真空系统。为适应粉末材料的烧结,真空系统具有缓抽功能。   3、 选材优质,设备密封性好,漏率小,压升率指标实际更高。   4、 炉膛内部均由不锈钢等材料制成,特别适合真空环境下热加工的条件。   5、 内(外)循环大功率风机快速冷却,大幅度提高生产效率。   6、 超高温炉温度控制采用热藕和光学测温仪分段测量自动转换,智能温控仪控制升温、恒温、降温,实现自动温控功能。温控仪具有工艺存储功能,可存储多条不同的工艺曲线具有PID参数自运算及掉电保护功能。   7、 *数字式智能真空计,及优质测量规管,确保真空度与温度控制连锁,满足工艺要求。   8、 整个工艺过程控制由可编程序控制器(PLC)完成,全部动作均采用联锁保护,可选择手动或自动两种工作方式,并配有值得信赖的报警及保护措施。   9、 根据用户不同的需求提供各种规格的设备。   特点   1、 单室、内热、冷壁、卧室结构,整体布置紧凑合理。   2、 *温度达2000度   3、 加热室结构合理,确保更严格的炉温均匀性要求。   4、 设备操作灵活,占地面积小,节约空间。   5、 真空系统上设有专用的捕集装置用于保护真空系统。   6、 可以配置脱蜡装置,是脱蜡与烧结在同一设备中完成,提高生产率。   7、 可以根据实际工艺,增配向炉内通入的氦气、氢气、氩气等的气氛供给系统。 以上内容来源于洛阳八佳电气:http://www.lybjkj.com

07 July 2025
气相沉积炉:探索薄膜材料制备的利器

气相沉积炉:探索薄膜材料制备的利器

气相沉积炉:探索薄膜材料制备的利器在当今科技飞速发展的时代,薄膜材料因其独特的物理和化学性质,在众多高科技领域中扮演着举足轻重的角色。无论是微电子、光电子、能源还是航空航天,高性能的薄膜材料都是推动这些行业进步的关键因素。而气相沉积炉,作为制备这些薄膜材料的先进设备,正日益受到广泛关注和应用。一、气相沉积炉的工作原理气相沉积炉是一种通过物理或化学气相反应在固体表面沉积薄膜的设备。其工作原理主要是利用气态前驱体在高温或特定气氛下分解、反应或吸附在基片表面,进而形成固态薄膜。根据沉积过程中的能量来源和反应类型,气相沉积技术可分为物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)两大类。二、气相沉积炉的分类及特点气相沉积炉根据反应压力、加热方式、气体流动方式等参数的不同,可以进一步细分为多种类型。例如,按反应压力可分为常压CVD、低压CVD和超高真空CVD;按加热方式可分为热壁CVD和冷壁CVD。这些不同类型的CVD炉各有其特点,适用于不同的薄膜制备需求。PVD技术主要包括射频溅射、磁控溅射和离子镀膜等,它们通过物理过程将材料从源极转移到基片上,具有沉积速度快、薄膜质量高等优点。而CVD技术则通过化学反应在基片上生成薄膜,具有成分控制精确、薄膜致密性好等优势。三、气相沉积炉在薄膜材料制备中的应用气相沉积炉在薄膜材料制备中的应用非常广泛。在微电子领域,它可用于制备高性能的金属互连层、绝缘层和氧化物层;在光电子领域,可用于制造光学滤光片、反射镜和透明导电膜等;在能源领域,可用于制备太阳能电池效率高的薄膜电极;在航空航天领域,可用于制造具有特殊功能的复合材料和涂层。此外,气相沉积炉还广泛应用于材料保护、防腐蚀、光学涂层等领域。其制备的薄膜材料具有优异的附着力、均匀性和致密性,能够显著提升产品的性能和使用寿命。四、气相沉积炉的发展趋势随着科技的进步和产业升级,气相沉积炉的发展也呈现出新的趋势。一方面,智能化、绿色化成为重要的发展方向,通过引入先进的控制系统和环保材料,提高设备的运行效率和环保性能;另一方面,多功能化、定制化也成为市场的需求,以满足不同领域和客户的特定需求。气相沉积炉作为探索薄膜材料制备的利器,正以其独特的优势和广泛的应用领域,在现代科技发展中发挥着举足轻重的作用。未来,随着技术的不断进步和创新,相信气相沉积炉将在更多领域发挥重要作用,推动科技和产业的持续发展。总之,气相沉积炉凭借其精确的控制、优异的性能和广泛的应用前景,已成为现代材料科学与工程领域不可或缺的重要工具。