气相沉积炉的特点是什么 　　气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的，但目前，不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。 　　设备特点在于：(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层，特别是在低温下可以合成高熔点物质，在节能方面做出了贡献，作为一种新技术是大有前途的。 　　下面小编详细列举几条炉子的特点，以便大家能更好的了解炉子的性能。 　　气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；并且，采用多温区独立控温，温度均匀性好； 　　与此同时采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 　　气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 　　气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

　　真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施　　真空烧结炉主要用于半导体元器材及电力整流器材的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及惯例烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它规划构思新颖，操作便利，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施：　　一、停电　　1、停电时，假如断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。　　2、假如在非升温、加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，继续运转如需求较长时刻，则将设备保持原状。　　3、假如正在加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，假如需求较长时刻时，则保持原状，让设备自然冷却下来。　　二、加热电源掉电　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。　　2、接地毛病。　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器衔接处必须衔接牢固，与反射屏绝缘要好。　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源呈现毛病，掉电的原因能够以为因为电介质击穿而引起的放电。　　三、充气气体停止　　1、抽真空开端前，气体充入时刻长或者无法充入时，请承认气体管路是否被堵塞。　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要悉数停止后再进行检查。　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要封闭气体供应阀及配管在内的一切气体系统。　　4、承认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。