气相沉积炉日常使用方法有哪些呢　　气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中新颖的技术装备，设计思路新颖，操作方便，结构紧凑，一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺，那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!　　气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下，利用中频感应加热原理，使位于盘管内的钨坩埚达到高温，通过热辐射传导到工作中，适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求，周围空气清洁干燥，通风条件好，工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法：　　1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安装固定在相应的基础上。　　3、查看接线图，参考电路图，连接外接主回路和控制回路，可靠接地，保证接线无误。　　4、检查电器活动部位活动自如，无卡死现象。　　5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。　　6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。　　7、控制电源开关置于断开位置。　　8、手动调压旋钮逆时针转动头。　　9、将报警按钮置于打开位置。　　10、平面图完成设备循环冷却水连接时，建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水)，防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

　　真空甩带炉的热处理技巧 　　真空甩带炉热处理即真空技术与热处理两个***相结合的归纳技术，是指热处理工艺的悉数和部分在真空状态下进行的。我国将真空划分为低、中、高和超高真空。 　　真空甩带炉在热加工范畴有着很好的发展前景，用于：透热、轧制、锻造、弯管、热处理(淬火)、焊接等工艺的感应加热。那么炉子的热处理技巧是什么呢? 　　1.真空甩带炉处理钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，因为钛和氮在高温下反响，构成金黄色的氮化钛。 　　2.真空炉活动衔接部分悉数采用O型橡胶圈密封衔接，此部分均通水冷却。 　　3.工件在真空状态下淬火，应运用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。 　　4.真空甩带炉的保养应在真空或充纯氮状态下，避免平时不用时吸气，吸潮。 　　5.国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些企业的标准为0.67Pa/h 　　6.真空加热以辐射为主，工件在炉内应该坚持间距。 　　7.升温过程中，工件及炉内材料会放气，使真空度下降。 　　8.真空回火、真空退火、真空固溶处理及真空时效的加热温度一般与惯例处理时加热温度相同。 　　9.真空甩带炉应该具有快冷装置。冷却水的压力应该大于0.2Mpa，流量应可调。 　　10.冷却气体：钢一般采用百分之99.995纯度的氮气，高温合金采用百分之99.999的氮气或氩气，钛合金采用百分之99.995的氩气。 　　11.升温：放入工件后，真空熔炼炉一般先预抽至6.67Pa时方可升温加热。