真空烧结炉结构特点是什么 　　真空烧结炉炉体为立式炉壳，其内层为不锈钢制成的圆筒，外层为碳钢。炉体分为两部分，其中三分之一为炉盖可手动完全侧开门，三分之二部分为固定炉体，设计独特，便于操作。两层之间形成夹套可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走，使炉壁温度不超过60℃，其上下法兰焊接为一个整体。中间开有红外测温孔（有保护气氛通气口），热电偶测温孔、抽气孔及观察孔，铂铑热电偶有到温自动退出装置，红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置，操作人员使用的观察孔设有挡板。 　　真空系统：由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀（防止因突然停电、机械泵油倒灌）充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表（±Pa）波纹管、真空管路和支架等组成。 　　液压系统：真空烧结炉采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器采用光栅尺（测距精度0.02mm）、液压缸等相关液压装置，压力调节半自动化、可通过手动调节。仪表可设定自动调节压力，并能实现稳压、保压。 　　水冷系统：由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。 　　温控系统：采用可控硅控温，配置有PID功能仪表，数显表，具有超温声光报警功能，也可选用PLC触摸屏自动控制，并保留历史数据，便于分析烧结过程。 　　充气系统：由各种管道及阀门组成，并配有电磁放气阀、压力传感器，当真空烧结炉炉内压力高于安全值时会自动放气，充气管路上装有针阀，可控制充气量。

　　真空速凝炉的应急措施 　　真空速凝炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，小编就为您介绍压缩空气的停止、停电、加热电源掉电的应急措施。 　　一、压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，真空速凝炉处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　二、停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动真空速凝炉，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　三、加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，真空速凝炉的压力表会报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若真空速凝炉炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。