行业动态

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉设备特点是什么
发布时间:2023-03-06   浏览:3515次

  气相沉积炉设备特点是什么

  气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料,也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。

气相沉积炉

  装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下:

  1.多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  2.采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

  3.气相沉积炉设备自动化高,关键执行电气件采用进口;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。

  4.采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强。


免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

05 August 2021
真空熔炼炉积垢垃圾怎么清理

真空熔炼炉积垢垃圾怎么清理

  真空熔炼炉积垢垃圾怎么清理   众所周知,真空熔炼炉主要用于真空环境下,进行加热的设备。虽然真空炉是在真空环境下使用,但是在使用的过程中,一样会产生很多积垢垃圾。这些垃圾如何不及时处理的话,会大大增加熔炼炉的维修保养难度,甚至会降低熔炼炉的使用寿命。   这些积垢物的粘稠度,在锅炉里的位置不同而不同,由于灰分的熔点不同和冷凝作用,有些积垢物呈液态或半液态状,有些是干燥的固体。当然,干燥固体状的积垢物是***理想的。这些积垢物如果不及时除掉,会给真空炉带来不良后果。   那么我们应该如何处理这些积垢垃圾呢?才能保证真空炉的使用寿命和工作效率呢?   1、因为真空熔炼炉的烟气里带有相当数量的二氧化硫,遇水分会变成三氧化硫(俗称的稀硫酸),给换热管表面造成腐蚀。所以在使用的过程中,需要防止三氧化硫的腐蚀性,破坏炉体。   2、由于真空炉被加热表面的积垢会越积越厚,形成保温层,直接影响热交换,降低锅炉的热效率。真空熔炼炉在使用一度时间后,必须哟要做好保养,清楚积垢,避免越级越厚。   3、由于换热管壁上的积垢越来越厚,相当于换热管越来越粗,这样就减少了换热管之间的透气截面积,增大了烟气排放的阻力,给真空熔炼炉的正常燃烧带来一定的影响。需要针对性的维护,清除积垢。