气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。 　　气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成，炉壳为圆柱形结构，分炉体和炉顶盖、炉底三部分，主要使用Q235钢材，炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构，夹层内设置蛇形导流板，既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力，炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。 　　加热及保温层，发热体采用带式合金发热体，分三个加热区，三角形加热，分布在炉腔四周;保温层：采用全纤维炉衬复合保温结构，既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能，成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上，操作与维护非常方便。 　　气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢，为保证高温真空下的工作强度，采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空，并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象，采用低电压大电流的供电方式。

　　真空熔炼炉采用耐热钢制造的真空罐放入电阻炉中，根据真空热处理工艺的需要，配接适当的真空系统，即成为筒单的真空热处理炉。是由电阻炉，真空罐硬和真空泵真空闷门、真空计等构成的真空系统。其热源在真空的外部，也就是电热元件设置在真空罐的外部，工件放在真空罐的内部，靠间接加热。 　　真空熔炼炉有以下几种结构： 　　1.钟罩式结构 　　这种结构的真空缺座落在炉底上，整个炉底和真空罐可以借助于电动或液压传动升降，以完成装出料操作并能缩短冷却时间。也可以采取真空罐和炉底固定不动，罩式炉体升降的方法来完成进出料操作等，但是炉体升降较为复杂。采用哪一种方法，要根据现场实际情况而定。 　　2.双真空结构 　　这种结构不仅真空罐内部被抽成真空，而且真空罐外部的炉体部分也被抽成真空。这样，就可以减少真空镶承受的压力，避免真空罐外壁氧化和变形，延长了真空罐的使用寿命。 　　在使用时还要注意，真空罐是真空甩带炉的关键性部件。由于真空罐须在高温和一个大气压的外压条件下工作，所以，真空罐的材料应具备良好的热稳定性和耐氧化性，间接性能要好，焊缝不易产生气孔、开裂，保证高温气密性。材料成分中的元素蒸气压要低，防止合金元素在高温、高真空下挥发。