真空烧结炉的主要特点有哪些呢 　　真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。 　　同时，真空烧结炉亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。设备分为单工位、双工位及多工位。下面我们就看看它的主要特点： 　　1、关键件全部采用进口件，具有高可靠性； 　　2、真空烧结炉具有可编程的升、降温功能； 　　3、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能； 　　4、真空烧结炉具有高抗干扰能力； 　　5、真空甩带炉具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

　　真空烧结炉容易漏气的点及检测方法　　真空烧结炉炉内的气氛会直接影响产品的表面处理效果，炉内的气氛由真空炉的气密性决定，如果要保证工件质量，先要保持真空炉的气密性良好，但真空烧结炉的气密性检查难点在于炉体面积大、管道复杂，并且容易泄漏的部位比较多，因此对真空烧结炉的气密性检查要形成制度化。下面八佳电气就介绍真空烧结炉容易漏气的点及检测方法：　　一、真空烧结炉气密性检查的重要部位：　　1、检修时替换设备的部位。检修时动过的炉体和管道部分，都要作为检查的关键部位。　　2、开启过的顶盖、底盖、穿带孔、检修门。　　3、进口密封辊缝。　　4、炉壳和循环管道上的膨胀节，炉辊法兰、换热器法兰、各外表法兰和焊口等。　　5、水冷高温计、摄像头、水冷换热器等。　　6、分析仪取样管接头等。　　二、正压部分的检查　　正常生产过程中，退火炉要保持在150-300Pa的微正压。　　1、泄露的判别。查询在线氧气ppm分析仪测量数据，当某段残氧量忽然显着升高时，就可能是炉壳或循环管道发生泄露。　　2、泄露的点检查方法和东西。东西室氢气探测仪。方法是确保炉内氢气在3%以上，用便携式氢气探测仪检查通过承认漏气炉段的气密性，重要部位是顶检修焊缝等。当检查到漏点部位时，氢气探测仪会发生报警。　　三、负压部分的检查　　循环风机的吸入端为负压，假定负压部位发生泄露，空气就会被吸入炉内。　　1、泄露的判别。通过查询在线分析仪测量数据改动，就能够判别这台风机是否有泄露。　　2、泄露的点检查方法和东西。负压泄露的点的检查能够通过上述方法，将负压变成正压，然后运用氢气探测器检查，也能够运用专门用于负压检漏设备——氦气检漏仪进行检查。　　四、泄露的点要如何处理　　退火炉总是处于作业情况，关于一些漏点能够采用打高温密封胶等方法做暂时处理，要等有停炉的时机再做完全处理。　　对开裂部位进行补焊;现已老化或损坏的密封垫、圈要替换；替换出现缝隙的部件例如膨胀节等；对松动的螺栓进行紧固；涂改高温密封胶。