真空速凝炉各组成部分及工作原理 　　真空速凝炉是利用真空感应熔炼的方法，在真空或惰性气体状态下把合金原料熔炼并浇铸在水冷辊上急速凝固后再在水冷盘上进行慢速降温。把合金变成30°C左右且大小、薄厚均匀的合金薄片的一种电热设备。速凝炉已成为制造合金薄片的生产专用熔炼设备在钕铁硼磁材的生产中可有效地减少ɑ-Fe生成。 　　真空速凝炉炉体为立式炉壳其内层为不锈钢制成的园筒外层为碳钢。两层之间形成夹套，可以通冷却水将传到炉壳上的热量带走,以使炉壁温度不超过60℃。中间开有保护气氛通气口。热电偶测温孔、抽气孔及观察孔。热电偶有到温自动退出装置。红外测温观察孔有玻璃气吹防雾装置,操作人员使用的观察孔设有挡板。 　　炉盖有内外封头和法兰组成,中间水冷炉盖吊在启闭机构上,板动启动机构上的手柄可以将真空速凝炉炉盖升启10-15mm,炉盖上有压头、压力传感器、排气隔膜阀及炉盖锁紧装置。 　　炉底也是由内外封头和法兰组成,中间水冷,固定在炉体底部,有电极引入,下压头进气隔膜阀等组成,并装可调节高度位移传感器。 　　电炉真空系统采用配电磁放气阀及油扩散泵。同时真空速凝炉还设有冷阱及机组，测量为复合真空计。

　　气相沉积炉的结构及工作原理　　气相沉积炉（Gas Phase Deposition Furnace）是一种用于材料薄膜生长的实验设备，常用于半导体、光电子、纳米科技等领域。下面是气相沉积炉的基本结构和工作原理的简要说明：　　气相沉积炉结构：　　气相沉积炉通常由以下几个主要组成部分构成：　　1.反应室（Reaction Chamber）：用于放置材料衬底（Substrate）以及执行反应的区域。反应室通常是一个密封的金属腔体，具有高温抗腐蚀性能。　　2.加热系统（Heating System）：用于提供反应室内的高温环境。加热系统通常采用电阻加热或感应加热的方式，通过加热元件（比如加热线圈）提供热源。　　3.气体供应系统（Gas Supply System）：用于控制和提供反应室内所需的气体混合物。气体供应系统通常包括多个气体进口、流量控制器和混合装置等。　　4.排气系统（Exhaust System）：用于排除反应室内产生的废气和杂质。排气系统通常包括真空泵和废气处理装置等。　　5.控制系统（Control System）：用于对炉子的温度、气体流量等参数进行实时监控和调节。　　气相沉积炉工作原理：　　气相沉积炉的工作原理是利用热分解或化学反应将气体源中的原料分子在高温环境下转化为可沉积的材料薄膜。具体步骤如下：　　1.衬底放置：将待生长的衬底放置在反应室中的加热区域，通常通过夹持装置固定。　　2.加热预处理：加热系统提供热源，将反应室内的温度升至所需的生长温度。此过程通常在惰性气氛下进行，以排除氧气和其他杂质。　　3.气体供应和反应：气体供应系统控制并提供所需的气体混合物，其通过进入反应室与衬底表面发生化学反应或热分解，产生可沉积的物种。　　4.材料沉积：沉积物种在衬底表面吸附并形成一层薄膜。其形貌、结构和性质可通过控制温度、气体流量和沉积时间等参数来调节。　　5.冷却和取出：完成材料沉积后，可关闭气体供应和加热系统，让衬底缓慢冷却。待冷却至安全温度后，可以取出生长的薄膜。　　需要注意的是，具体的气相沉积炉工作原理会因不同类型的沉积方法（如化学气相沉积、物理气相沉积等）和所研究的材料而有所不同。上述仅为一般的工作原理示意，实际操作中需根据具体情况进行参数调节和设备操作。