真空烧结炉遇到的故障要怎么解决呢 　　任何机器使用时间久了都会出现一些的问题，下面就真空烧结炉出现故障之后该怎么办给大家介绍下。 　　真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。 　　一、如果是冷却水异常 　　1、确认加热电源已停止。 　　2、真空烧结炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。 　　3、冷却水发生异常时，真空烧结炉处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。 　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。 　　二、真空烧结炉压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让真空烧结炉恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让真空熔炼炉停下来。

　　真空烧结炉常见泄漏点及检漏方法介绍　　一台漏率合格的真空烧结炉，先需要保证炉体内的高真空，但作为一个系统，与炉体相连的各部分也都必须无泄漏点才能保证真空的保持。因此，在判定设备的漏点时需先从真空系统分析其可能存在的漏点，常见位置包括：　　1、机械泵、罗茨泵、扩散泵等真空泵组泄漏；　　2、冷凝器内毛细管及毛细管与法兰连接处泄漏；　　3、真空管道与弯头连接处及管道之前焊接处泄漏；　　4、真空阀门本身及其与管道连接处泄漏。　　下面我们再来了解检漏方法　　真空烧结炉检漏的方法很多，根据被检设备所处的状态可分为气泡检漏法、升压检漏法和氦质谱检漏法三种。　　1、气泡检漏法　　气泡检漏法是将空气压入被检部件，然后将其浸入水中或对其可疑表面涂上肥皂液，如果被检部件上有漏孔，肥皂液就会鼓起气泡，通过观察气泡可以判断漏孔的存在和位置。这种检漏方法主要用于被检真空炉的连接处采用法兰螺栓连接等可以承受正压的场合，可用于小型烧结炉或真空管路的检漏。如果烧结炉由于结构复杂、体积较大、结合面较多，通常在检漏初期采用气泡检漏法，该方法经济实用，能取得较好的检漏效果。　　2、升压检漏法　　升压检漏法是当被检容器内真空度达到100Pa以下时，在怀疑有泄漏的地方涂抹丙酮等易挥发液体，如果有漏孔，丙酮气体就会通过漏孔进入被检容器内部，可从真空监测仪表上显示压力是否突然有明显的升高来判断该设备是否有泄漏，并且判定漏孔的存在、位置。在真空烧结炉检漏中期，即气泡检漏法不能完全找到设备漏点时，采用升压检漏法可进一步检测出设备的漏点，效果良好。　　3、氦质谱检漏法　　氦质谱检漏是一种常见也是更可靠的真空炉检漏方法，它是利用氦质谱检漏仪的磁偏转原理，对于泄漏气体氦气反应灵敏，从而确定漏点的检漏方式。这种检漏方法充分利用了氦气的强渗透、易流动、易扩散等性能，检漏过程不易受干扰，不会误判，反应快。在真空烧结炉检测时，首先给管路充气，把检漏仪按照要求接好，检漏仪监测点尽量接在前级真空管路上；其次是考虑检漏点的检漏顺序，一般来说，经常活动的真空部分是优先考虑的，比如真空室门的密封圈等，然后考虑真空系统的静态接触点，如真空规处、真空管路的外接法兰处等，之后是气路系统和水路系统。