气相沉积炉的优势有哪些　　气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。　　电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；　　气相沉积炉采用智能压力调控，压力波动小；　　全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；　　多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　多级尾气处理系统，环境友好，能很快收集焦油及副产物，易清理；　　气相沉积炉可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高。

　　真空熔炼炉的维护和保养方法是哪些呢 　　真空熔炼炉是在抽真空炉体中用电弧直接加热熔炼金属的电炉。炉内气体稀薄，主要靠被熔金属的蒸气发生电弧，为使电弧稳定，一般供直流电。按照熔炼特点，分为金属重熔炉和浇铸炉。按照熔炼过程中电极是否消耗(熔化)，分为自耗炉和非自耗炉，工业上应用的大多数是自耗炉。真空电弧炉用于熔炼特殊钢、活泼的和难熔的金属如钛、钼、铌。 　　电弧电热可以认为是弧阻电热。电弧(弧阻)稳定是炉子正常生产的必要条件。交流电弧炉通常采用工频电，为使电弧稳定，真空熔炼炉炉子供电电路中要有适当的感抗，但是存在感抗会降低功率因数和电效率。降低电流频率是发展交流电弧炉的途径。弧阻阻值相当小，为获得必要的热量，炉子需要相当大的工作电流，因此炉子短网的电阻要尽量小，以免电路损耗过大。那要如何做好维护和保养呢？方法有二，如下： 　　1、按照PLC程序抽低真空：紧闭真空熔炼炉所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后(大约1-2min)，打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空; 　　2、按照PLC程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15Pa以下后，真空熔炼炉系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。