真空烧结炉要怎么进行清理　　真空烧结炉在使用一段时间后，会产生一些杂质和污垢，需要进行清理。下面是真空烧结炉的清理方法：　　1、关闭真空烧结炉的电源和气源，并等待炉体冷却。　　2、清理炉体内部：打开炉门，用软毛刷或吸尘器清理炉体内部的积灰和杂物，注意不要损坏加热元件和保护罩。　　3、清理炉体外部：用软布或吸尘器清理炉体外部的灰尘和污垢，注意不要用水直接冲洗炉体。　　4、清洗加热元件和保护罩：使用专门的清洗剂或去污剂，清洗加热元件和保护罩，注意不要损坏加热元件和保护罩。　　5、检查真空泵：检查真空泵是否清洁，如有污垢需要清理。　　6、检查真空计：检查真空计是否正常，如有故障需要维修或更换。　　7、定期维护：定期对真空烧结炉进行维护，包括清理、检查和更换热电偶、温控仪表等设备。　　需要注意的是，在清理真空烧结炉时，一定要注意安全，避免损坏设备和人身安全。同时，清理时要按照操作规程进行，不要随意更改设备的结构和参数，以免影响设备的正常使用。

　　真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施　　真空烧结炉主要用于半导体元器材及电力整流器材的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及惯例烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它规划构思新颖，操作便利，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施：　　一、停电　　1、停电时，假如断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。　　2、假如在非升温、加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，继续运转如需求较长时刻，则将设备保持原状。　　3、假如正在加热和冷却时，能够赶快康复时，重新启动设备，假如需求较长时刻时，则保持原状，让设备自然冷却下来。　　二、加热电源掉电　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。　　2、接地毛病。　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器衔接处必须衔接牢固，与反射屏绝缘要好。　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源呈现毛病，掉电的原因能够以为因为电介质击穿而引起的放电。　　三、充气气体停止　　1、抽真空开端前，气体充入时刻长或者无法充入时，请承认气体管路是否被堵塞。　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要悉数停止后再进行检查。　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要封闭气体供应阀及配管在内的一切气体系统。　　4、承认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。