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气相沉积炉计算机控制系统使用说明
发布时间:2016-11-11   浏览:4167次

  气相沉积炉计算机控制系统要如何使用呢?今天,洛阳八佳电气科技股份有限公司就来跟大家简单的说一说使用方法及注意事项。

  首先,气相沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,这些都是处理工件的核心的部分。而为混气罐,由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀这三部分七小块组成,负责氩气和丙烷的混气配比,以及向沉积炉内定量输送工作气体。

  其次,沉积炉还具有2台滑阀泵,注意是负责气相沉积炉内的空气及工作废气的排除等,这使得炉子可以工作在恒定的压力范围之内。2台过滤罐,主要是负责滑阀泵前级的粉尘排除。

  另外,气相沉积炉计算机控制系统还有3台加热磁性调压器,他们独立工作,完成炉温的控制。


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