真空烧结炉是可进行真空烧结的的工艺，是半导体专用设备中一种新颖的工艺装备，可用于其他领域内的真空热处理工艺。当烧结炉出现冷却水异常怎么办? 　　发现工业炉出现异常时，要先确认加热电源是否已经停止。如果真空烧结炉炉外发生漏水，冷却水量异常时，应立即采取一些应急措施。如能保证水量，继续保持真空;如不能则保持原状，确认设备冷却下来。 　　如果冷却水出现异常时，真空烧结炉处于停止状态，则立刻接通紧急用冷却水。在保持高温时，冷却水就会停止，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵极有可能会被损坏。 　　因此，在使用高温热处理炉、真空速凝炉等此类工业炉时，一定要注意冷却水是否异常，要时常检查设备，做好平日的维护，才能延长设备使用年限。

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