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真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢
发布时间:2022-03-31   浏览:3700次

  真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢

  真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。

真空烧结炉

  因此,真空烧结炉在结构上应满足以下要求:

  (1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。

  (2)具有气密性,即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。

  (3)炉内的各段温度可控,烧结气氛可调。

  (4)具有快速冷却装置,可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。

  真空烧结炉使用的注意事项

  (1)当使用氢气或分解氨时,要先通入氮气,在确保炉中的空气完全被排出时,才能通电升温,以防止打鸣和爆炸。

  (2)对钼丝作加热元件的烧结炉,在通电前炉体中应通入保护气体,以防止钼丝氧化而脆断。

  (3)真空烧结炉炉门及气体排出口应点明火烧除,以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。

  (4)若电热元件为铁铬铝电阻丝,在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温,以防止电阻丝表面温度过高而损坏。

  (5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求,以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。

  (6)停炉前应先断电,在炉温降到200℃以下时再停气和停水。

  (7)除了因维修要停真空烧结炉炉外,要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停,会造成加热元件易于老化,耐火材料易于碎裂,炉内气氛不纯,炉温容易波动等弊端。

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