气相沉积炉的特点是什么 　　气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的，但目前，不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。 　　设备特点在于：(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层，而且可以在粉体表面涂层，特别是在低温下可以合成高熔点物质，在节能方面做出了贡献，作为一种新技术是大有前途的。 　　下面小编详细列举几条炉子的特点，以便大家能更好的了解炉子的性能。 　　气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；并且，采用多温区独立控温，温度均匀性好； 　　与此同时采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 　　气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 　　气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

        一般在工作中，对真空甩带炉更换氩气。我们先要顺时针转动空钢瓶上的放气阀，使之关闭;逆时针旋动减压阀上的小阀关闭。利用扳手逆时针拧动连接钢瓶与减压阀之间的螺丝直至将两者分开，将减压阀置于不易掉落之地。随之将空钢瓶小心挪出，置于闲处;将新钢瓶挪入原空瓶处，并装上减压阀，确保连接牢靠不漏气。将钢瓶的放气阀逆时针拧开，减压阀关闭。对其洗气过程的如下： 　　1、按下机械泵电源按钮，等待2分钟;抽出机械泵拉杆。 　　2、开充气阀：将充气阀(真空甩带炉腔体右悬臂下)逆时针旋转90度，使之平行于该装置。 　　3、按下“充气Ⅰ”;待氩气罐气压表(前面板左下)指针指向“-0.01MPa”。 　　4、关充气阀：顺时针旋转充气阀90度，使之与该装置垂直。 　　5、给氩气罐充气：顺时针旋转减压阀上的小阀至“开”，观察氩气罐气压表为“0.08MPa”时，逆时针旋转小阀至“关”。 　　6、重复2步骤;待氩气罐气压表指向“-0.01MPa”时，重复第4步骤。 　　7、重复第5、6步骤各一次。 　　8、洗气结束：顺时针旋转减压阀上的小阀至“开”，观察氩气罐气压表为“0.08MPa”时，关闭“充气Ⅰ”;将机械泵拉杆推进，关闭机械泵电源按钮。 　　***后，关电源：将真空速凝炉总电源闸刀拉下至“关”。清理现场，保持现场整洁。