气相沉积炉设备特点是什么　　气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料，也可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理，或以三氯甲硅烷（MTS）为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。　　装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。该气相沉积炉设备特点如下：　　1.多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；　　2.采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；　　3.气相沉积炉设备自动化高，关键执行电气件采用进口；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。　　4.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强。

　　真空烧结炉是如何起到提纯作用的　　真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物体进行维护性烧结的炉。加热办法有许多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉是一种使用感应加热对被加热物体进行维护性烧结的炉。它可分为工频、中频、高频等类型，并可分为真空烧结炉的子类。　　在炉顶用一定量的气体烧结物体的一种办法。针对不同材料选择适宜的气氛烧结有利于烧结进程，进步产品的细密化程度，获得功用出色的产品。真空气氛炉通常运用各种气氛，如真空、氢气、氧气、氮气和慵懒气体（如氩气）。例如，透明氧化铝陶瓷可以在氢气氛中烧结，透明铁电陶瓷应该在氧气氛中烧结，氮化铝等氮化物陶瓷应该在氮气氛中烧结。有时，为了维护烧结合作，还需要在维护气氛中操作。例如，钼丝炉应与氢气联接，钨丝炉应在真空下作业。　　真空烧结炉的首要长处：　　1、真空有利于清扫吸附气体，对促进烧结后期的缩短效果显着。　　2、真空有利于硅，铝，镁，钙等杂质或其氧化物的清扫，起到提纯材料的效果。　　3、真空可改进液相烧结的潮湿性，有利于烧结进程中的缩短和改进合金的安排结构。　　4、真空是抱负的慵懒气氛，当不宜用其他还原性或慵懒气体时，或许对简单呈现脱碳，渗碳的材料，均可选用真空烧结炉。　　5、削减气氛中的有害成分(水，氧，氮等)对产品的玷污。