真空烧结炉热区设计及气体管理系统运行要点　　真空烧结炉在升温平和均热处理温度达到６００°C时，剩余聚合物粘结剂的除气进程产生。为了有用运送气体物质到热区外，需要在箱体内各个点都有一股连续同质的净化气流。气密炉胆（或马弗）的规划可以减小真空烧结炉的尺寸，实现外部加热。这种规划的主要优势在于，炉子供给了高纯气氛并保证热气流均匀地穿过零件。但是，在炉内安装一个冷却风扇并不是件容易的事情，这会导致较长的生产周期，炉胆也会产生更多的投资、维护和能源成本。　　其根底架构是一个圆形的碳钢结构（分配器），它为热区、加热元件和隔热层供给均匀的支撑。扁平条状的石墨加热元件彻底包围了热区的圆柱形部分，并且均匀排列以便为工作区供给能量传递。附加在前后端部的加热元件进一步提高温度均匀性至±３°C。保温层内部是多层高性能石墨毡，外表是CFC资料。工艺气体的输入独立可调且流量可控，这有助于在热区内部和分配器及炉壳的间隙中坚持一个压差。均匀的工艺气体在热区内外循环，以保证粘结剂均匀蒸腾，防止粘结剂再次沉积，也使热区免受污染。

　　真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢 　　真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。 　　因此，真空烧结炉在结构上应满足以下要求： 　　(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。 　　(2)具有气密性，即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。 　　(3)炉内的各段温度可控，烧结气氛可调。 　　(4)具有快速冷却装置，可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。 　　真空烧结炉使用的注意事项 　　(1)当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气完全被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。 　　(2)对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。 　　(3)真空烧结炉炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。 　　(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。 　　(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。 　　(6)停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。 　　(7)除了因维修要停真空烧结炉炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。