行业动态

聚焦行业动态,洞悉行业发展

气相沉积炉的特点是什么
发布时间:2021-04-12   浏览:1455次

  气相沉积炉的特点是什么

  气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD沉积炉是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术开始是作为涂层的手段而开发的,但目前,不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。

气相沉积炉的特点是什么

  设备特点在于:(1)在低温下合成高熔点物质;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层,特别是在低温下可以合成高熔点物质,在节能方面做出了贡献,作为一种新技术是大有前途的。

  下面小编详细列举几条炉子的特点,以便大家能更好的了解炉子的性能。

  气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;并且,采用多温区独立控温,温度均匀性好;

  与此同时采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

  气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

  气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

相关推荐

03 December 2020
真空甩带炉升降温度如何调节

真空甩带炉升降温度如何调节

  真空甩带炉升降温度如何调节  对于真空甩带炉的调温点,许多人更关注实际操作的峰值温度。甩带炉的合适的温度范围不是过高过烧,过低过烧。这些条件都不是好的烧结效果。确定合适的烧结温度范围的关键是控制好温度。如何判断它是欠烧还是过烧?参照甩带炉电气性能参数,可判断。   在欠火状态下,银浆仍能穿透氮化硅,因此进入n型层的银浆较少,欧姆接触效果不好,串联电阻较大。真空甩带炉过烧时,银的消耗会比平时多,并会形成银硅混合层,这将起到阻碍作用,同时也会形成一系列阻力过大。因此不可能仅凭阻力就推断出它是烧坏了还是烧坏了。  当无法判断烧结状态时,可以调整8区温度,找到近似的调整节点,然后缓慢微调。当微调时,我们可以根据后场的状态来判断。如果后场稍有膨胀,则是由于过热,因此应微调真空甩带炉温度。  在真空甩带炉烧结前,必须确认各加热灯是否能正常工作。检查各温度区灯的输出功率是否高于其他温度区灯的平均功率,以确保平均烧结。  真空熔炼炉是通过高温加热来减小物体或物质形状的装置。它可以减少物体内的空隙,逐渐聚集晶界,逐渐连接固体颗粒,从而增加聚晶烧结体设备的密度,减少物体。