真空烧结炉是利用了感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型。是在真空的环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热的方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等;好的养护工作决定了炉子的使用寿命， 　　真空烧结炉的真空腔体是由炉体、炉盖和炉底组成;炉体由304不锈钢法兰和内外筒体组焊而成，内壁镜面抛光，炉体上开设有压铸接口、喷铸接口、旋转电极接口、甩带收集管、红外测温接口、模具预热电源电极引入接口;炉盖由整体实心304加工而成，上面开设有大直径观察窗，可直观的观测到炉内的各种实验情况;炉底也是由整体实心304加工而成，固定有甩带装置。整体外观哑光处理，整洁大方。 　　熔炼装置由超音频电源、水冷电缆、旋转电极、线圈、保温套和坩埚组成，通过更换线圈、保温套和坩埚实现不同容量。极限温度可加热至1700℃。(容量按照50g,200g,500g,1000g来配)，熔炼完成后可通过手动倾倒到模具内。喷铸装置由气缸、石英管、时间继电器、气源恒定装置等组成，可实现小容量溶液的喷带和喷铸。(喷铸配石英管，极限容量50g) 　　压铸装置由特殊加压装置、压架、底座、压头和母模等组成，当溶液浇铸或者喷铸到母模内，启动加压装置对工件加压，提高其致密性。真空烧结炉的压铸底部压头有定位槽，保证上下压头同心度;底部压头可调节高度;整套压力架支撑在地上。炉体底部有防漏盘，防止熔液损坏真空腔体。 　　模具预热系统为防止浇铸到母模内的溶液冷却过快，特在母模外部加装感应线圈预热，由一台7.5Kw IGBT超音频电源、水冷铜接头和线圈等组成，如果不用预热，也可取下感应线圈，用闷头密封。预留有两路进出水，水流量可通过流量计来控制(专门用于水冷铜模)。抽真空系统由一台扩散泵、一台双极直联泵、三台气动挡板阀、真空管路和真空计等组成，冷态极限真空度优于6.67×10E-3Pa。炉体支架由型材和钢板拼装而成，门板全部采用数控加工，尺寸精度高，外表喷塑处理，整体布局合理，颜色搭配美观。和电控柜采用一体结构。 　　另外，真空烧结炉水冷却系统是由水冷机、各种阀门和水管等组成，带有电接点水压表，具有超压、欠压报警功能。

　　真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢 　　真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。 　　因此，真空烧结炉在结构上应满足以下要求： 　　(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。 　　(2)具有气密性，即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。 　　(3)炉内的各段温度可控，烧结气氛可调。 　　(4)具有快速冷却装置，可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。 　　真空烧结炉使用的注意事项 　　(1)当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气完全被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。 　　(2)对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。 　　(3)真空烧结炉炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。 　　(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。 　　(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。 　　(6)停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。 　　(7)除了因维修要停真空烧结炉炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。