真空烧结炉的主要特点有哪些呢 　　真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。 　　同时，真空烧结炉亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。设备分为单工位、双工位及多工位。下面我们就看看它的主要特点： 　　1、关键件全部采用进口件，具有高可靠性； 　　2、真空烧结炉具有可编程的升、降温功能； 　　3、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能； 　　4、真空烧结炉具有高抗干扰能力； 　　5、真空甩带炉具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

　　关于真空烧结炉的两种结构介绍　　真空烧结炉采用耐热钢制造的真空罐放入电阻炉中，根据真空热处理工艺的需要，配接适当的真空系统，即成为筒单的真空热处理炉。是由电阻炉，真空罐硬和真空泵真空闷门、真空计等构成的真空系统。其热源在真空的外部，也就是电热元件设置在真空罐的外部，工件放在真空罐的内部，靠间接加热。　　真空烧结炉有以下几种结构：　　1.钟罩式结构　　这种结构的真空缺座落在炉底上，整个真空熔炼炉炉底和真空罐可以借助于电动或液压传动升降，以完成装出料操作并能缩短冷却时间。也可以采取真空罐和炉底固定不动，罩式炉体升降的方法来完成进出料操作等，但是炉体升降较为复杂。采用哪一种方法，要根据现场实际情况而定。　　2.双真空结构　　这种结构不仅真空罐内部被抽成真空，而且真空罐外部的真空熔炼炉炉体部分也被抽成真空。这样，就可以减少真空镶承受的压力，避免真空罐外壁氧化和变形，延长了真空罐的使用寿命。　　在使用时还要注意，真空罐是真空烧结炉的关键性部件。由于真空罐须在高温和一个大气压的外压条件下工作，所以，真空罐的材料应具备良好的热稳定性和耐氧化性，间接性能要好，焊缝不易产生气孔、开裂，保证高温气密性。材料成分中的元素蒸气压要低，防止合金元素在高温、高真空下挥发。